mart FOUPs и наблюдение-в реално време
„Front Opening Unified Pod“ (FOUP) вече не е пасивен контейнер. Сега има модерни версииEdge устройства с-активиран IoT.
Сензорна интеграция:Нова функция FOUPs, вградени-сензори за наблюдениевлажност (RH), нива на кислород, ивибрацияв реално-време. Това е критично за 3nm и 2nm процеси, където дори малък скок във влагата може да причини окисление на пластините.
RFID и цифрови близнаци:Всяка кутия вече носи уникален цифров идентификатор, който се интегрира със системата за изпълнение на производството (MES) на фабриката. Това позволява автоматизирани „здравни проверки“, проследяващи колко пъти е използвана кутия и кога изисква дълбоко почистване
Разширено прочистване и контрол на околната среда
Тъй като транзисторите се свиват, "Частиците убийци" и молекулярните замърсители (AMC) стават по-смъртоносни.
Екстремно прочистване:Най-новите 300 mm FOUP използватпродухване с много-дюза N2 (азот) или екстремно чист сух въздух (XCDA). Това поддържа среда със свръх-ниско съдържание на кислород (< 1%) to prevent the aging of copper and other sensitive materials.
Активно екраниране:Някои-кутии за транспортиране от висок клас (FOSB) вече включват активно екраниране за неутрализиране на електростатичните полета по време на въздушен транспорт, където ниската влажност обикновено увеличава рисковете от ESD.
Специализирани носители за "Трудни" вафли
Възходът наЧиплетииХетерогенна интеграцияпромени физическата форма на това, което трябва да се носи.
Поддръжка на тънки и изкривени вафли:Усъвършенстваните опаковки често включват вафли, изтънени до < 100 μm, или вафли, които са „извити“ поради топлинен стрес. Нови превозвачи използватсъвместими опории специализирани затягащи геометрии, за да държат тези крехки вафли, без да ги напукат.
8-инчов (200 mm) SiC фокус:Докато 300 мм доминира логиката,Силициев карбид (SiC)индустрията в момента преминава от 6-инчови към 8-инчови пластини за електромобили. Това предизвика "втора вълна" от иновации в 200 mm FOSB, специално проектирани за по-тежки, по-крехки SiC субстрати.
Материалознание и ESD защита
Материалите преминават от стандартен поликарбонат към високо{0}}ефективни полимери.
PEEK и въглерод-полимери:За да сведат до минимум „отделянето на газове“ (където самата пластмаса отделя химикали, които развалят вафлите), производителите използват усъвършенстваниPEEKилиUHMWPE.
Статични дисипативни (ESD) подобрения:Новите пластмаси, пълни с въглеродни -нанотръби-, осигуряват по-равномерно повърхностно съпротивление, като гарантират, че статичните заряди се отделят безопасно без рисковете от „искри“ на по-старите антистатични покрития.